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| 应用行业领域 | 电子信息-计算机软件 |
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| 适用范围 | |
| 成果内容简介 |
1．XJA1 高 g 值加速度传感器 a. 特点 ？ 自主制造的微机械加工耐高 g 值压阻芯片 ？ 100,000g 的量程，高过载保护 ？ 灵敏度高、长期稳定性好 ？ 高频响 ？ 高过载,小体积 ？ 低成本 b. 概述 XJA1 高 g 值冲击加速度计采用的 MEMS 压阻式硅芯片拥有自主的知识产权，其独特的内部结构，为传感器提供了可靠的过载保护、适当的空气阻尼及良好的密封性。主要用于航空航天、兵器、船舶、轨道交通装备等对冲击、碰撞、爆破产生的加速度测量。 c. 技术参数 过载保护：100,000g 响应频率：≥100kHz 供 电；+5VDC 满量程输出：60mV±20mV 工作温度：-40℃～125℃ 相对湿度：0%～85% 绝缘电阻：100MΩ(50VDC) 重 量：≤5g 2.XJG2 高温压力传感器 a. 特点 ？ 自主制造的微机械加工耐高温压阻力敏芯片 ？ 可长期在高温下工作 ？ 灵敏度高、长期稳定性好 ？ 动态频响好 ？ 高量程、高过载 b. 概述 XJG 2 高温压力传感器采用 MEMS 技术和 SOI 技术，集成平膜压力传感器芯体，并采用先进的梁膜结构设计，使其具有耐高温及瞬时高温冲击的能力、动态频率响应高（最高可达到 1MHz）、超高量程，以及高过载（最大可承受满量程 20 倍）等特点。“耐高温压力传感器”为国家高技术研究发展计划(863 计划)MEMS 领域重点项目成果，并通过部级成果鉴定，拥有自主知识产权(发明专利：ZL 01 1 28782.9 和 ZL001.13961.4)。该压力传感器广泛应用于航空航天、国防、石油、化工、冶金、电力、船舶、汽车、医药、科研等领域对高温流体的测量。 c. 技术参数 耐瞬时高温冲击:2000℃ 测量介质：与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 量 程：0～500KPa……150MPa 供 电：1.5mA 或 5mA 或 9V 零位输出：≤±2mV 3.XJG4 微型压力传感器 a. 特点 ？ 微型结构体积小、重量轻 ？ 长期稳定性好 ？ 测量范围宽 ？ 动态频响高 b. 概述 在空气动力学研究、飞行器及发动机试验、风洞试验、流体力学及水工试验、水轮机及水下兵器试验、生物医学应用，化爆或核爆冲击波等许多研究中，出于对不改变被测流场的考虑或受安放位置局限，必须原位测压时，常常对传感器的外形尺寸的微型化有较为苛刻的要求，以期在不干扰流场状态情况下，复现动态流场的变化规律。XJG4 微型压力传感器正是为这些应用开发的，它采用了微型化设计的微机械加工工艺制成集成压阻力敏元件，进行精致巧妙的微型封装，通常外径在Φ8mm 到Φ15mm、长度不超过 25mm，并且可按照用户要求的形状与尺寸定制。微型压力传感器系列以其小巧的外形、高输出、高温、优异的动态和静态特性以及极高的可靠性而显示其特色。 c. 技术参数 测量介质：与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 量 程：0～10KPa……60MPa 供 电：1.5mA 或 5mA 或 9V 零位输出：≤±2Mv 满量程输出：100mV±40mV 过载压力：≥150%FS 工作温度：－25℃～85℃ 贮存温度：－40℃～125℃ 相对湿度：0%～85% 绝缘电阻：100MΩ(50VDC) 4.XJG8 高频响压力传感器 a. 特点 ？ 动态频响好 ？ 自主研制的微机械加工的耐高温压阻力敏芯片 ？ 长期稳定性好 ？ 测量范围宽 b. 概述 XJG8 高频响压力传感器利用微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小，因而固有频率高；利用硅优良的弹性力学特性，加之低的电桥内阻抗，从而不仅利于获得高频响，低至零频高至接近固有频率的宽频带响应，而且有低至亚微秒的上升时间及非常平滑的幅频特性曲线。综合性能优于压电动态压力传感器，动态频率响应极高（最高可达到 1MHz）。该系列传感器适用于军事工程、化爆试验、石油勘采与测井、材料、力学、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中，测量一些变化高、波形陡的动态压力波形与幅值、有效值，是动态测压的首选。 c. 技术参数 动态频响：最高 1MHz 测量介质：与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 量 程：0～10KPa……60MPa 供 电：1.5mA 或 5mA 或 9V 零位输出：≤±2mV 绝缘电阻：100MΩ(50VDC) 5.XJG7 高过载压力传感器 a. 特点 ？ 测量压力高 ？ 自主研制的微机械加工的压阻力敏芯片 ？ 具备瞬间动态高压力的抗过载能力 b. 概述 XJG7 高过载压力传感器是一种能够承受并测量 2GPa 动态瞬间高压力的超高压力传感器，主要应用领域为动能弹侵彻、油井勘探、新型材料的高压合成、地下核弹爆炸、高速公路安全防护、动能弹拦截、车辆碰撞安全、水下冲击波的测量等。 c. 技术参数 测量范围： 0~2GPa 传感器封装尺寸：≤ф30mm 固有频率：≥500kHz 精 度：1%FS 功 耗： 10mW 工作温度：-40℃~200℃ 耐瞬时高温冲击：≥3000℃，瞬时高温持续时间：100 毫秒 重 量： ≤100 克 6.XJE2 高温高压充油压力芯体 a. 特点 ？ 优良的线性特性 ？ 长期稳定性好 ？ 动态特性好 ？ 可长期在高温下工作 b. 概述 XJE2 高温高压系列充油压力芯体采用高精度、高稳定性微压力敏芯片或 SOI 压力力敏芯片作为弹性敏感单元，通过（高温）充硅油工艺和（高温）精密补偿工艺，可实现（高温下）0～60MPa…～200MPa 的压力测量。将 XJE 系列充油压力传感器芯体装入具有标准和特定螺纹的压力接口中，可制作出结构型式多样的压力传感器，并与标准信号处理电路配合，可将压力信号转换成多种工业标准电信号输出，适用于各种不同压力测量产品的组装和生产。 c. 技术参数 测量介质：与不锈钢、密封圈兼容的各种液体或气体 量 程：0～60MPa……200MPa 内 阻：1KΩ～6KΩ，25℃ 供 电：1.5mA 或 5mA 或 9V 零位输出：≤±2mV 满程输出：80mV±20mV 过载压力：≥200%FS 7.XJB2 高温压力变送器 a. 特点 ？ 自主研制的微机械加工的耐高温压阻力敏芯片 ？ 灵敏度高，长期稳定性好 ？ 激光全焊接封装 ？ 测量范围宽 ？ 分体式设计，用户可调整零位、满度 b. 概述 XJB2 高温压力变送器选用耐高温压力传感器芯体，由于采用 MEMS 技术和 SOI 技术，集成平膜压力传感器芯体，并采用先进的梁膜结构设计，使其具有耐高温及高温瞬时冲击的能力。传感器输出信号经过分体式变送盒的放大处理，将其转换成标准电信号。传感器壳体采用激光焊接封装，确保了该产品的优异性能和长期稳定性。分体式设计，便于用户调整零位、满度，该压力变送器广泛应用于航空、航天、国防、石油、化工、冶金、电力、船舶、汽车、医药、科研等领域对高温气体、液体的测量。 d. 技术参数 耐瞬时高温冲击: 2000℃ 测量介质：与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 量 程：0～500KPa……150MPa 供电电压：标准 24VDC 或 12VDC～32VDC 输出信号：4～20mA 或 1～5V 或 0～5V 或 0.5～4.5V(5VDC 供电) 8.XJB6 智能数字压力变送器 a. 特点 ？ 宽温液晶数字显示 ？ 全温度范围内的数字化温度补偿技术及非线性修正技术 ？ 数字量输出，抗电磁及射频干扰能力强。 ？ 可模拟量（4～20mA）同时输出 ？ 具备通讯输出接口（RS-485），便于总线组网应用 ？ 长期稳定性好 ？ 性价比高、精度高 b. 概述 XJB6 是一款高精度、高稳定性的数显变送器产品。变送器传感器芯片工作温区广、信号处理部分可进行非线性和温漂补偿。解决了模拟变送器温度漂移等问题，数字量输出、抗干扰性强、无需其它采集设备，可直接与计算机通讯。该产品采用专用宽温液晶显示，并通过精密数字化温度补偿及非线性修正技术精心制造。通用的 RS485 总线，方便组成网络化的压力检测系统。产品在输出标准模拟信号的同时，可扩展各种通讯接口，是普通压力变送器的理想替代产品。该产品广泛适用于石油化工、水电、城市供水、科研等领域液体压力的精密测量与显示。 c. 技术参数 测量介质：与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 量 程：0～20KPa……150MPa 供电电压：标准 24VDC 或 12VDC～32VDC 输出信号：模拟量 4～20mA/数字量液晶显示（RS485 通讯输出） 过载压力：≥150%FS |
| 前期应用示范情况 | |
| 获得研发资助情况 | |
| 转化应用前景 |
