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基于 MEMS 技术的传感器及数据记录仪

评论:0 发布时间:2021-04-07
行业领域:信息传输、软件和信息技术服务业 —— 软件和信息技术服务业
专利信息: 非专利技术
成熟度: 已有样品
技术合作方式: 完全转让
技术推广方式: 正在技术推广
技术交易价格: 面议
  • 信息描述
应用行业领域 电子信息-计算机软件
适用范围
成果内容简介 1.XJA1 高 g 值加速度传感器 
a. 特点 
? 自主制造的微机械加工耐高 g 值压阻芯片 
? 100,000g 的量程,高过载保护 
? 灵敏度高、长期稳定性好 
? 高频响
? 高过载,小体积 
? 低成本
b. 概述 
XJA1 高 g 值冲击加速度计采用的 MEMS 压阻式硅芯片拥有自主的知识产权,其独特的内部结构,为传感器提供了可靠的过载保护、适当的空气阻尼及良好的密封性。主要用于航空航天、兵器、船舶、轨道交通装备等对冲击、碰撞、爆破产生的加速度测量。 
c. 技术参数 
过载保护:100,000g 
响应频率:≥100kHz 
供 电;+5VDC 
满量程输出:60mV±20mV 
工作温度:-40℃~125℃ 
相对湿度:0%~85% 
绝缘电阻:100MΩ(50VDC) 
重 量:≤5g
2.XJG2 高温压力传感器 
a. 特点 
? 自主制造的微机械加工耐高温压阻力敏芯片 
? 可长期在高温下工作 
? 灵敏度高、长期稳定性好 
? 动态频响好 
? 高量程、高过载
b. 概述 
XJG 2 高温压力传感器采用 MEMS 技术和 SOI 技术,集成平膜压力传感器芯体,并采用先进的梁膜结构设计,使其具有耐高温及瞬时高温冲击的能力、动态频率响应高(最高可达到 1MHz)、超高量程,以及高过载(最大可承受满量程 20 倍)等特点。“耐高温压力传感器”为国家高技术研究发展计划(863 计划)MEMS 领域重点项目成果,并通过部级成果鉴定,拥有自主知识产权(发明专利:ZL 01 1 28782.9 和 ZL001.13961.4)。该压力传感器广泛应用于航空航天、国防、石油、化工、冶金、电力、船舶、汽车、医药、科研等领域对高温流体的测量。
c. 技术参数 
耐瞬时高温冲击:2000℃ 
测量介质:与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 
量 程:0~500KPa……150MPa 
供 电:1.5mA 或 5mA 或 9V 
零位输出:≤±2mV
3.XJG4 微型压力传感器 
a. 特点 
? 微型结构体积小、重量轻 
? 长期稳定性好 
? 测量范围宽 
? 动态频响高
b. 概述 
在空气动力学研究、飞行器及发动机试验、风洞试验、流体力学及水工试验、水轮机及水下兵器试验、生物医学应用,化爆或核爆冲击波等许多研究中,出于对不改变被测流场的考虑或受安放位置局限,必须原位测压时,常常对传感器的外形尺寸的微型化有较为苛刻的要求,以期在不干扰流场状态情况下,复现动态流场的变化规律。XJG4 微型压力传感器正是为这些应用开发的,它采用了微型化设计的微机械加工工艺制成集成压阻力敏元件,进行精致巧妙的微型封装,通常外径在Φ8mm 到Φ15mm、长度不超过 25mm,并且可按照用户要求的形状与尺寸定制。微型压力传感器系列以其小巧的外形、高输出、高温、优异的动态和静态特性以及极高的可靠性而显示其特色。
c. 技术参数 
测量介质:与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 
量 程:0~10KPa……60MPa 供 电:1.5mA 或 5mA 或 9V 
零位输出:≤±2Mv 满量程输出:100mV±40mV 
过载压力:≥150%FS 工作温度:-25℃~85℃ 
贮存温度:-40℃~125℃ 相对湿度:0%~85%
绝缘电阻:100MΩ(50VDC)
4.XJG8 高频响压力传感器 
a. 特点 
? 动态频响好 
? 自主研制的微机械加工的耐高温压阻力敏芯片 
? 长期稳定性好 
? 测量范围宽
b. 概述 
XJG8 高频响压力传感器利用微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小,因而固有频率高;利用硅优良的弹性力学特性,加之低的电桥内阻抗,从而不仅利于获得高频响,低至零频高至接近固有频率的宽频带响应,而且有低至亚微秒的上升时间及非常平滑的幅频特性曲线。综合性能优于压电动态压力传感器,动态频率响应极高(最高可达到 1MHz)。该系列传感器适用于军事工程、化爆试验、石油勘采与测井、材料、力学、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中,测量一些变化高、波形陡的动态压力波形与幅值、有效值,是动态测压的首选。 
c. 技术参数 
动态频响:最高 1MHz 
测量介质:与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 
量 程:0~10KPa……60MPa 
供 电:1.5mA 或 5mA 或 9V
零位输出:≤±2mV 
绝缘电阻:100MΩ(50VDC)
5.XJG7 高过载压力传感器 
a. 特点 
? 测量压力高 
? 自主研制的微机械加工的压阻力敏芯片 
? 具备瞬间动态高压力的抗过载能力 
b. 概述 
XJG7 高过载压力传感器是一种能够承受并测量 2GPa 动态瞬间高压力的超高压力传感器,主要应用领域为动能弹侵彻、油井勘探、新型材料的高压合成、地下核弹爆炸、高速公路安全防护、动能弹拦截、车辆碰撞安全、水下冲击波的测量等。
c. 技术参数 
测量范围: 0~2GPa 
传感器封装尺寸:≤ф30mm 
固有频率:≥500kHz 
精 度:1%FS 
功 耗: 10mW 
工作温度:-40℃~200℃ 
耐瞬时高温冲击:≥3000℃,瞬时高温持续时间:100 毫秒 
重 量: ≤100 克
6.XJE2 高温高压充油压力芯体 
a. 特点 
? 优良的线性特性 
? 长期稳定性好 
? 动态特性好 
? 可长期在高温下工作
b. 概述 
XJE2 高温高压系列充油压力芯体采用高精度、高稳定性微压力敏芯片或 SOI 压力力敏芯片作为弹性敏感单元,通过(高温)充硅油工艺和(高温)精密补偿工艺,可实现(高温下)0~60MPa…~200MPa 的压力测量。将 XJE 系列充油压力传感器芯体装入具有标准和特定螺纹的压力接口中,可制作出结构型式多样的压力传感器,并与标准信号处理电路配合,可将压力信号转换成多种工业标准电信号输出,适用于各种不同压力测量产品的组装和生产。
c. 技术参数 
测量介质:与不锈钢、密封圈兼容的各种液体或气体 
量 程:0~60MPa……200MPa 
内 阻:1KΩ~6KΩ,25℃ 
供 电:1.5mA 或 5mA 或 9V 
零位输出:≤±2mV
满程输出:80mV±20mV 
过载压力:≥200%FS
7.XJB2 高温压力变送器 
a. 特点 
? 自主研制的微机械加工的耐高温压阻力敏芯片 
? 灵敏度高,长期稳定性好 
? 激光全焊接封装 
? 测量范围宽 
? 分体式设计,用户可调整零位、满度
b. 概述 
XJB2 高温压力变送器选用耐高温压力传感器芯体,由于采用 MEMS 技术和 SOI 技术,集成平膜压力传感器芯体,并采用先进的梁膜结构设计,使其具有耐高温及高温瞬时冲击的能力。传感器输出信号经过分体式变送盒的放大处理,将其转换成标准电信号。传感器壳体采用激光焊接封装,确保了该产品的优异性能和长期稳定性。分体式设计,便于用户调整零位、满度,该压力变送器广泛应用于航空、航天、国防、石油、化工、冶金、电力、船舶、汽车、医药、科研等领域对高温气体、液体的测量。 
d. 技术参数 
耐瞬时高温冲击: 2000℃ 
测量介质:与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 
量 程:0~500KPa……150MPa 
供电电压:标准 24VDC 或 12VDC~32VDC 
输出信号:4~20mA 或 1~5V 或 0~5V 或 0.5~4.5V(5VDC 供电)
8.XJB6 智能数字压力变送器 
a. 特点 
? 宽温液晶数字显示 
? 全温度范围内的数字化温度补偿技术及非线性修正技术 
? 数字量输出,抗电磁及射频干扰能力强。 
? 可模拟量(4~20mA)同时输出
? 具备通讯输出接口(RS-485),便于总线组网应用 
? 长期稳定性好 
? 性价比高、精度高 
b. 概述 
XJB6 是一款高精度、高稳定性的数显变送器产品。变送器传感器芯片工作温区广、信号处理部分可进行非线性和温漂补偿。解决了模拟变送器温度漂移等问题,数字量输出、抗干扰性强、无需其它采集设备,可直接与计算机通讯。该产品采用专用宽温液晶显示,并通过精密数字化温度补偿及非线性修正技术精心制造。通用的 RS485 总线,方便组成网络化的压力检测系统。产品在输出标准模拟信号的同时,可扩展各种通讯接口,是普通压力变送器的理想替代产品。该产品广泛适用于石油化工、水电、城市供水、科研等领域液体压力的精密测量与显示。
c. 技术参数 
测量介质:与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 
量 程:0~20KPa……150MPa 
供电电压:标准 24VDC 或 12VDC~32VDC 
输出信号:模拟量 4~20mA/数字量液晶显示(RS485 通讯输出) 
过载压力:≥150%FS
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